二手 PHOSEON MX1002 #9226706 待售

PHOSEON MX1002是为半导体工业制造的高端晶圆测试和计量设备。它设计用于测量晶片、硅芯片或其他材料等基材的性能。该系统有一个先进的光学计量头，使用激光干涉测量和光学剖面图对基板进行高分辨率成像。它执行诸如大面积的层间计量、薄膜厚度测量以及高放大倍率的缺陷检测等测试。该单元采用7轴运动学设计,允许X轴和Y轴的行程达到2000mm。这允许一个大的测量区域。光学头还提供最大放大倍数为250倍的可变焦距，以及可调激光功率高达40mW倍。光学机器本身是使用高精度对准元件进行校准和构造的。MX1002还配备了最先进的传感器套件,其中包括用于距离测量的数字线性编码器、用于图像分析的64通道电容传感器和温度补偿电容传感器。此传感器套件提供从表面粗糙度到深度轮廓的广泛测量。PHOSEON MX1002还使用了一个功能强大的软件套件，用于分析从传感器收集的数据。该软件包括高级统计分析功能以及用于数据后处理的强大工具。该软件还包括一个扫描记录器功能，它可以将数据保存速度比标准速率快20倍。MX1002是一个强大的工具，旨在满足半导体行业的需求。凭借其高精度的光学、复杂的传感器套件和强大的软件，它可以被用于精确、快速地测量各种基板。