二手 RAYTEX RXW-1226SFI #293591340 待售

RAYTEX RXW-1226SFI是一种晶圆测试和计量设备,用于测量各种参数,包括薄片电阻、薄片电阻均匀性、薄片厚度、PRAM和应力。该系统具有200 mm x 200 mm的大型工件托架,可自动校准工件表面,从而实现全自动测试。此外,该单元还提供可编程扫描速度和加速度,允许用户根据特定应用程序自定义测试参数。该单元包括变焦150至500倍的12.3 MP立体光学显微镜，小倾斜角调节范围，自动调焦。它还能够执行SEM泄漏测量，从而能够对微观结构和缺陷进行详细分析。显微镜还包括一个独立的晶片卡盘和XY级，允许在两个轴中精确测量，分辨率为0.1um/step。RAYTEX RXW 1226SFI还配备了真空晶片蒸发器，使晶片从样品载体直接转移到显微镜上。此功能可快速装卸工件,大大减少安装时间和工作量。该单元与多种材料兼容，使得在测试过程中可以同时使用有机和无机薄膜。RXW-1226SFI非常适合需要精确测量各种基板上的微结构和缺陷的应用。它的直观界面和自动校准可以方便操作和快速测试，而其500倍光学显微镜和SEM泄漏分析能力可以对样品进行详细分析。该机的真空晶片蒸发器还允许快速装卸，能够快速测试和减少设置时间。