二手 REHDER ET-3 #293657669 待售

REHDER ET-3是一种晶片测试和计量设备，为直径达300毫米的晶片提供高通量计量。它结合了单个系统中最高的吞吐量、准确性和多功能性。ET-3设备配备了最新的光学和多功能工具，能够测量几乎所有类型的晶片。它采用独特的"双视图"机器，结合低放大成像模式识别和高放大成像分辨率的测量。它还提供了几种板载传感器,包括红外相机、可见相机、激光剖面仪和3D显微镜,在测量z深度、临界尺寸、特征轮廓、表面纹理和晶粒尺寸等参数方面提供了无与伦比的灵活性。REHDER ET-3工具具有多个可互换的阶段,允许在各种温度和各种大气中快速交换和测量样品,使其成为各种测试和制造环境的理想选择。多通道光学器件可用于提高模模测量的速度，同时也有助于防止由于样品不对准而造成的任何浪费。该资产利用自动化的样品处理和对齐,减少了处理时间并提高了吞吐量。用于ET-3的高级软件套件提供了从一般晶圆表征到高级特征分析的各种分析功能。它旨在在同一测量时间内提供全面的表征数据，允许实时优化过程校正。REHDER ET-3提供了高级工具和功能的独特组合以及强大的软件套件,使其成为提高晶圆质量的宝贵工具。该型号的高性能、精确度和多功能性使其成为半导体行业质量控制、测试和研发的理想选择。