二手 RUDOLPH / AUGUST 3DI 8000 #293761475 待售

RUDOLPH/AUGUST 3DI 8000是一种高度先进的晶圆测试和计量设备。在晶圆上半导体器件几何特性的测量中，可以提供最佳的精度和精度。它提供光学显微镜和半导体器件特性的干涉测量。该系统将专门设计的3轴干涉显微镜与精密级相结合，创建晶圆测量的成像单元。显微镜由一个底座组成，底座包含两个交叉轴干涉仪，可以测量两个横向位移和一个正交位移。显微镜还具有准直光束，用于高精度测量垂直尺寸或深度。此外，该机还包括一个精密级，可以高精度扫描大晶圆区域。AUGUST 3DI 8000是一个强大的工具，设计为高度不敏感振动。这一资产提供了高达1.5纳米的增强分辨率和高达0.2纳米的可重复性。该模型能够快速准确地测量晶圆级半导体结构的三维信息。RUDOLPH 3DI 8000包括高级图像分析软件,为用户提供结果的全面图形显示。该软件还可用于分析已用设备捕获的数据，并将获取的图像与参考图像进行比较。这种图像处理软件允许可视化获取的数据，以及进一步的数据分析。3DI 8000提供高吞吐量测量和广泛的测量功能。是专业研发工作的理想选择。它也非常适合用于生产测试和质量控制应用。该系统是分析新开发半导体材料性能和可靠性的理想选择。