二手 RUDOLPH / AUGUST 3DI 8000 #9206004 待售
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RUDOLPH/AUGUST 3DI 8000是一种全自动晶圆测试和计量设备,旨在提供卓越的分析和测试数据。它能够测量各种参数，包括应力、应变、电性能以及材料特性的其他方面。利用各种数据采集技术，可以测量各种半导体材料和结构的物理、机械、热和电气性能。AUGUST 3DI 8000配备了高精度激光干涉仪系统，使其能够精确测量和表征3个轴中晶圆的表面轮廓，分辨率高达0.1纳米。该单元还配备了一台带有C-MOS传感器的高分辨率XYRIS 4级计量机，在所有三个轴上提供了完整的视野，能够测量各种特征，如线宽、周期性和缺陷/空隙，分辨率为0.1微米。该工具还能够利用准直激光束资产进行应力和应变测量，其中激光激发样品的光学效应，以检测应力和应变引起的变形。该模型还提供电容、电感、电阻等各种电气特性的非接触测量。RUDOLPH 3DI 8000还提供了用于管理自动例程的强大图形用户界面。用户定义的模板允许用户使用预定的晶圆和样本特性快速修改参数。凭借其高速数据采集、图像采集和处理以及先进的计量能力，3DI 8000能够快速分析和检测晶圆上的缺陷和其他缺陷。RUDOLPH/AUGUST 3DI 8000是一种紧凑、自给自足的设备,能够对具有业界领先精度的最先进的半导体材料进行全面测试。其先进的非接触式测试和自动化程序使其成为半导体材料领域的研究人员和工程师的理想选择,因为它提供了一种快速可靠的方法来分析和测量各种材料的性能。
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