二手 RUDOLPH / AUGUST S3000SX #9305282 待售
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ID: 9305282
Thin film measurement system, 12"
2011 vintage.
RUDOLPH/AUGUST S3000SX是一种晶圆测试和计量设备,提供先进的晶圆计量能力。它旨在提供对300毫米晶圆的精确测量。它具有集成的晶片级和自动真空密封系统,以改进晶片的处理和定位。AUGUST S3000SX配备了具有自动光束对准和实时成像的高精度激光装置,用于精确和可重复的测量。该机采用先进的光电测量技术,具有更高的分辨率和精度,同时实现了经济高效的吞吐量。它配备了多个光学子系统、激光二极管,以及高速测量和更大灵活性的高数值孔径。RUDOLPH S3000SX能够执行各种测量,包括线宽、步长、悬垂和缺陷剖面。该工具允许同时获取两个检查参数。先进的光电测量以低噪声水平和高分辨率进行。它还提供了从低至20 nm分辨率检测晶片上的小故障的能力。S3000SX还提供各种专业产品,以满足各种检查和测量需要。可为各种测试和计量目的定制资产。除了标准晶片测试和分析过程外,该单元还提供边缘检测、角检测、图像分析等专门产品,使用户能够获取有关晶片表面的详细信息。该模型还带有CCD摄像机,用于晶圆特征的检查和测量。这些相机具有高分辨率,能够以高清细节捕捉信息。该单元还配备了大视野(LFOV)和高级焦点控制(AFC),用于快速准确的测量。RUDOLPH/AUGUST S3000SX还配备了一个校准器,用于快速准确地为每个晶圆设置设备。该系统还能够存储扫描结果以进行分析,并存储大量数据以进行质量保证监控。总体而言,AUGUST S3000SX是一个高度先进的晶圆测试和计量单元,提供精确的测量、高速测量和强大的光电功能。该工具具有定制机器和执行专门测量的能力,非常适合那些寻求精确、高效和经济高效的晶圆测试和计量功能的用户。
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