二手 RUDOLPH FE VII/IV #9373048 待售

RUDOLPH FE VII/IV
ID: 9373048
晶圆大小: 8"
优质的: 2002
Thickness measurement system, 8" 2002 vintage.
RUDOLPH FE VII/IV是一种晶圆测试和计量设备,设计用于研发(R&D)和生产应用。该系统为背面和正面的非接触晶片检测提供了一个通用平台。该单元支持多种直径和封装类型,并有大量选择的传感器和测量头来检测各种过程不符合。它能够测量晶片级特性如颗粒缺陷浓度、表面地形、电性能、化学成分和蚀刻深度。该机采用尖端专有技术和多传感器成像技术,用于晶片的快速检测和表面计量。它能够检查多达30 x 30 cm2/die,并且可以支持多达8个不同的部分,从而能够更快、更准确地提取数据。此外,它还通过新的显微镜图像采集提供非接触和非接触测量能力。该工具还提供了一种独特的专利多轴扫描技术,它带有可变扫描速度和加速度轮廓。这样可以确保消除所有曲率,并提供全面的模具级报告来评估晶圆在生产和设计中的性能。此外,借助快速的CMOS线扫描摄像机和大视野,实现了高达300 mm/秒的数据采集和扫描速度。此外,该资产还提供了一个内置软件包和EWI工具套件,用于快速分析和评估半导体晶片。它还为图像分割和识别提供了一个集成的视觉分析模型。此外,它还具有一整套用于自动生成报告、标记、缺陷分类和统计分析的工具。最后,它还具有许多自动化工具,如机器人握把、机器视觉和其他机器人功能。总之,RUDOLPH FE VII/IV是一种强大的晶片测试和计量设备,为非接触和非接触晶片检查提供无与伦比的精度和速度。它将先进的专有技术与多传感器成像相结合,支持从研发到生产应用的各种金刚石晶片检测。凭借其一套集成工具,它提供了一个快速、可靠、全面的平台来评估和分析半导体晶圆。
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