二手 RUDOLPH MetaPulse 200 #293766451 待售
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RUDOLPH MetaPulse 200晶圆测试和计量设备是专门为半导体晶圆和其他相关基板的测试和计量应用而设计的自动化系统。该单元提供高分辨率成像和舞台扫描机,用于测试和分析人造结构。它能够扫描模具的两侧,使其适合各种应用,包括模具级计量过程和缺陷审查。该工具结合直接成像技术使用高分辨率光学器件,使用户能够对半导体或其他基板进行顶部和底部的高分辨率成像。图像可以以高达25 nm的分辨率创建,并且资产具有各种可调整的参数,具体取决于特定的应用程序。该模型还具有自动阶段扫描设备,用户可以在单个位置扫描整个模具区域或多个模具。这种扫描系统允许在短时间内对大面积进行高精度、高速的审查。该单元配备了多种数据采集硬件和软件,允许用户分析比较多项测试的结果。机器还附带了几个分析套件,允许用户分析模具级和缺陷相关参数,如临界尺寸(CD)测量、边缘阈值测量、粒度测量、统计分析等等。RUDOLPH META PULSE 200还提供了多种界面选项,使用户可以轻松连接到外部系统和数据库。该工具与各种计算机和操作系统兼容,从而可以与几乎所有现有的基础架构兼容。该资产还支持各种自动化数据导入/导出格式,使其易于存储、分析和与其他用户共享结果。总体而言,MetaPulse 200晶圆测试和计量模型是一个完整的设备,旨在提供快速、准确和可靠的数据测试。除了自动化的阶段扫描技术外,系统还提供了多种高级数据分析选项,使用户能够在各种应用程序中快速查看结果并实现准确的过程控制。
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