二手 RUDOLPH MetaPulse 200 #293813130 待售

ID: 293813130
Thickness measurement system.
RUDOLPH MetaPulse 200是由RUDOLPH Technologies设计的晶圆测试和计量设备,用于提高半导体和电子元件测试的吞吐量和精度。该系统采用高速扫描头,用于在包括硅芯片和其他半导体材料在内的各种基板上进行测试。它还具有高级计量功能,包括成像、临界尺寸(CD)测量和缺陷检测。RUDOLPH META PULSE 200利用极精确的光束转向子系统,以高速度、高精度精确测量纳米级特征和缺陷。这是通过将光束通过独特的自适应光学单元对准基板,然后通过弯曲反射镜和透镜控制光束聚焦或影响区域来实现的。此外,机器的自适应光学工具允许它自动补偿温度、湿度和其他可能影响光束的变量的变化。资产还包括一些专门的探头,每个探头都为半自动晶圆探头或手动测试定制。这些探头设计用于确保准确、可靠的结果,即使在具有挑战性的环境中也是如此。300毫米双头探头利用压电级探测到纳米精度以内。200毫米单头探头以高度精确的发散/凸光路径进一步提高精度,是测量非平面晶片的理想选择。RUDOLPH嵌入式缺陷检测算法与低噪声CCD摄像机耦合,提供了以高扫描速度快速检测最复杂地形缺陷的能力。高清OLED触摸屏界面提供检测过程的实时可视化,并允许定制型号以满足特定的应用需求。MetaPulse 200还符合业界最严格的安全要求,提供多种级别的用户身份验证和加密,以及许多安全功能。它还包括各种诊断功能和错误跟踪,以确保操作可靠性。该设备具有直观的用户界面和全面的远程管理功能,可轻松集成到现有网络中。总体而言,META PULSE 200将先进的计量能力与无与伦比的速度和精度相结合,使其成为现代半导体制造设施理想的晶圆测试和计量系统。
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