二手 RUDOLPH MetaPulse 200X-Cu #293665001 待售

RUDOLPH MetaPulse 200X-Cu是一种适用于商用半导体器件生产的高精度、无损晶圆测试和计量设备。它对于大的晶片尺寸具有极好的精度，具有大的视场和高达16位动态范围的高分辨率图像传感器。此外,它还能够测量表征设备性能的电气参数,如片状电阻和接触电阻等。该系统包括一个1000毫米宽的图像卷轴、两个光源、精确的线性级控制和一个复杂的光学单元。它采用优质钢制成，具有耐用性和温度稳定性，即使在各种具有挑战性的测量环境中也能可靠收集数据。RUDOLPH METAPULSE 200XCU的高精度光学成像能力是为建立基于设备布局的电气表征模型而设计的。这种能力使得能够进行无损微观检查，例如表征半导体器件结构中的微空隙、计算氧化物厚度以及评估器件的各向异性效应。成像质量允许对不同的设备结构进行高分辨率检查和分析，以进行过程控制和提高产量。METAPULSE 200X CU的数据收集能力可以配置为测量参数，如晶圆图、电容器、接触/通过和平面预测/趋势。它采用集成索引机设计，在长时间的连续测量会话中实现可重复性并保持数据精度。此外,为了表征动态设备性能,METAPULSE 200 X CU可以通过频率调谐收集数据,并表征从0Hz到10MHz的一系列交流/直流偏置激发的设备配置文件。对于数据精度，该工具还支持与许多电气探针同时测量，以捕捉寄生效应，如接触电阻。它还旨在减少接触弹跳产生的测量噪声和数据误差,并缩短沉降时间。RUDOLPH METAPULSE 200 X CU也很容易升级，并提供高数据吞吐量的高效生产跟踪。直观的用户界面可轻松配置复杂的测量设置和自动测量,并且可以轻松地将收集的数据可视化以进行分析。总体而言，METAPULSE 200XCU具有高精度和数据评估能力，是商用半导体器件生产的绝佳选择。