二手 RUDOLPH MetaPulse 200X-Cu #9238326 待售
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RUDOLPH MetaPulse 200X-Cu是一种尖端晶片测试和计量设备,旨在促进快速可靠的无损晶片评估。该系统为表面和地下缺陷检测、横截面计量和过程控制提供了独特的综合工具组合。该产品配备了功能齐全的视觉机器人基板处理程序(VRSH),具有嵌入式模式识别单元和用于自动处理大型晶片的五轴运动平台。该机还集成了高性能的平面外光学计量头和多层光学器件,对晶片薄膜和工艺特性进行快速、准确和无损的评估。该200X-Cu利用先进的超高真空系统和专有的无损成像技术对缺陷进行成像,并测量晶圆参数到亚微米精度。该工具还具有高精度级控制资产,能够精确地将晶圆样品放置在不同的位置和方向,以便进行不同的测量或实验。此外,该模型还可用于对晶圆样品进行自动探测,以检测表面和地下缺陷,并测量薄膜的厚度和组成以及特定微结构的拓扑。该200X-Cu进一步集成了一系列先进的模式识别算法,以检测单个像素的变化并辨别晶圆中的任何模式缺陷。因此,用户可以采取主动步骤来纠正其流程中的任何缺陷。RUDOLPH METAPULSE 200XCU是一种高效的晶圆测试和计量设备,旨在帮助用户识别和解决生产周期早期的缺陷。该系统采用高效自动化和高精度晶片处理技术,便于快速、准确地检测和测量晶片特性。
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