二手 RUDOLPH MetaPulse 200X-Cu #9300364 待售

RUDOLPH MetaPulse 200X-Cu
ID: 9300364
晶圆大小: 6"
Film thickness measurement system, 6".
RUDOLPH MetaPulse 200X-Cu是专门针对制造业需求而设计的先进晶圆测试和计量设备。它提供了多用途和无与伦比的测量能力,并且在晶圆检测过程中在准确性、可重复性和灵敏度方面脱颖而出。该系统利用获得专利的2D激光检查----一种检查晶圆表面地形的方法,它以纳米分辨率的非接触方式扫描表面。这次检查产生的结果非常准确,使用户可以远程观察和测量晶圆的地形,从而可以进行更一致的质量控制。先进的2D激光技术还能够快速检测晶圆表面的像差,如划痕。RUDOLPH METAPULSE 200XCU具有高效的自动化3D晶片计量单元,具有用于快速测量长度、半径、峰谷、倾角、不对称、平坦度、电感和其他晶片参数的集成机器。此工具每秒最多可测量6个曲面,并且符合SEMI M1/M7规范,可快速准确地测量不同晶圆尺寸和形状。此外,该资产还采用了世界上最先进的SONAR技术,这是一种先进的无损测量和映射晶圆轮廓形状和表面缺陷的方法,同时测量晶圆的质量。该模型还可用于定量测量、量化和观察晶圆表面特征,如宽度、厚度和变形。此外,该设备还包括一个高精度、自动化的模式识别和记录系统,可以快速检测高精度的模式缺陷,如微裂纹、沟槽、细纹等。该单元还确保其他临界晶片参数,如平坦度、对称性、z-tilt、tilt和roundness可以同时监控。此外,该机支持高速数据传输功能,允许数据在多个系统之间快速、轻松地共享。此功能将分析和报告所需的时间缩短到几分钟,从而大大加快了质量保证过程。总体而言,METAPULSE 200X CU是一种先进的晶圆测试和计量工具,可快速检测像差、精确和可重复的测量以及高速数据交换。它是满足制造业需求的理想资产。
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