二手 RUDOLPH MetaPulse 300 #9262861 待售

RUDOLPH MetaPulse 300是一种高精度和全自动晶圆测试和计量设备。它旨在提供有关半导体工艺晶圆均匀性和排泄性的信息。它使用光学头与先进软件耦合，快速准确地测量晶圆特性。第一步是将晶片引入测试站，MetaPulse 300在那里测量其整体厚度和曲率，以及晶片排泄率。然后通过其图像分析和缺陷检查程序处理测量数据,以检测几何偏差、污染、杂质和其他缺陷。该系统使用高分辨率光学器件来收集精确的信息，并采用模煳逻辑来完成晶圆状态的全貌。第二步是评估晶圆的平面度或波浪度。该单元采用独特的3D振动感测技术，测量晶圆表面的平均轮廓和波浪度。利用它的特征识别算法，它还可以识别出各种各样的平面相关缺陷，如螺丝、台阶、小球以及模具附着垫的错位。第三步是测量关键轮廓,如针脚、孔和通风孔。此步骤很重要,因为必须确定这些测量结果以确保晶圆的完整性,例如设备之间信号路径的连续性。RUDOLPH MetaPulse 300的自动特征识别软件能够极精确地分析和总结配置文件。第四步是分析晶圆方向和位置。机器能够检查晶片相对于支撑面的方向，以确保晶片的正确放置，以便后续处理。使用参考图像,MetaPulse 300能够检测未对齐或变形的组件,以及验证基准精度。使用RUDOLPH MetaPulse 300,用户能够确保精确的晶圆尺寸和条件,从而提高产量并优化工艺。其测量3 D轮廓的能力以先进的成像、缺陷识别和分析技术为后盾，使其成为市场上最可靠的晶圆测量系统之一。