二手 RUDOLPH MetaPulse 300 #9365999 待售
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ID: 9365999
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
Thickness measurement system, 12"
With dual FOUP load ports
Open cassettes for handling, 8"-12"
Dual front opening unified pod loaders: 13/15 Slots for handling, 12"
Ultrafast laser output: 300 mW at 800 nm
Diode pump power: 2 W
Laser light source damaged
Missing parts:
Mainframe
EFEM Module
Chiller and inverter
2007 vintage.
RUDOLPH MetaPulse 300是一个最先进的晶圆测试和计量平台,设计用于在半导体制造过程之前和期间提供快速、精确的晶圆测量。该设备具有许多先进的特性和技术,使其能够准确测量和分析晶圆电介质、金属和其他材料的电气特性。在其核心,MetaPulse 300利用三个时域反射测量通道来测量材料性质和测试晶片本身的完整性。该系统将这些通道与先进的脉宽调制技术结合起来,精确分析和测量了高达8400 MHz的材料。而且,该单元可以测量和识别广泛的参数,包括材料的电阻、电容、阻抗和介电强度。机器的用户控制和界面设计为用户友好且易于理解。大型彩色触摸屏显示屏有助于引导用户完成测试和测量,同时以图形、测试数据和其他实时可视化的形式提供有价值的反馈。此外,该工具与现有的测试和计量设备(如站点控制系统)快速、无缝地集成在一起,从而实现了测试设置的平稳、高效自动化。RUDOLPH MetaPulse 300还支持一系列测试条件和温度范围从-40°C到150°C,因此可以用于高温应用。此外,资产还可以检测和测量各种电压电平和频率,最高可达500 MHz,并具有出色的降噪能力,从而支持高精度测试。该平台还具有强大的测试平台环境和嵌入式质量保证功能,旨在保证可重复和可靠的结果。总体而言,MetaPulse 300是一种先进的晶圆测试和计量模型,可以提供对半导体材料电性能的强大洞察。该设备具有多通道反射仪和独立的测试平台,能够精确测量各种材料参数,成为任何生产环境下的宝贵工具。
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