二手 RUDOLPH MetaPulse-III 300XCu #293625425 待售
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ID: 293625425
晶圆大小: 12"
优质的: 2013
Thickness measurement system, 12"
Process: Metrology
2013 vintage.
RUDOLPTH RUDOLPH MetaPulse-III 300XCu晶圆测试和计量设备是一种高度先进的自动化工具,旨在协助半导体晶圆的表征和检验。它拥有一个300 mm的大型晶圆平台,具有改进的扫描能力和高精度的测量精度。其独特的多步方法全面概述了晶圆参数和特性,分析了组成、结晶度、图样密度和表面平滑度等所有相关参数。该系统的工作原理是首先测量电阻和电压等电特性,然后对晶片进行详细的物理分析。在此之后,工具就能确定晶片的厚度、平整度等特性。进一步的细节,例如材料的均匀性,可以使用单元的高级光学器件来确定。此外,该技术还可以确定可能出现缺陷甚至材料特性变化的区域。每次扫描可实现多达8个样品的扫描速度,从而实现半导体晶圆表征的快速过程。此外,RUDOLPH METAPULSE III 300XCU机器能够测量晶圆到亚微米精度,最小分辨率为0.2 μ m。该工具也易于操作。图形用户界面(GUI)允许用户快速高效地控制资产,以及查看和分析模型提供的结果。这种最先进的技术还允许用户在一系列不同的自动化或手动分析技术之间进行选择。除了速度和精度,RUDOLPTH METAPULSE III 300 XCU还提供卓越的连通性。该设备与多个不同的软件平台兼容,可以轻松有效地执行数据导出和比较。该系统还允许对自动测试过程进行远程操作、监视和控制。RUDOLPTH MetaPulse-III 300XCu晶圆测试和计量单元提供了一整套功能,非常适合识别和表征半导体晶圆。其高度先进和自动化的特点,加上机器的速度和精确度,确保了卓越的效果。该工具易于使用的GUI和出色的连接提供了一种在短时间内访问可靠数据的简便方法。
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