二手 RUDOLPH MetaPulse-III 300XCu #9353244 待售

RUDOLPH MetaPulse-III 300XCu晶圆测试和计量设备是晶圆测试和计量的全自动系统。该单元旨在为一系列应用提供精确的晶片结果,如深度剖析、电气特性、薄膜特性和无损成像。单晶片配置和高度自动化允许机器的高效配置和操作，在短时间内提供高吞吐量的晶片样品。它配备了一个完全集成的光学子系统，可用于视觉检查和SEM或TEM成像。该工具采用高级阶段设计,以及一整套控制器和驱动程序。控制器套件由模拟/数字处理器（ADP）、基于软件的控制资产、多模控制器和定量数据采集处理器（QDAP）组成。ADP用于关键性能测量,包括电气和热测量。它还用于配置和控制模型，其中包括提供必要的识别算法，与真空设备接口，控制辐照系统，测量材料表面，以及向用户提供适当的反馈。RUDOLPH METAPULSE III 300XCU晶圆测试和计量单元还具有获得专利的双光束机（DBS）光学器件,使该工具能够提供薄膜表征,并以最高精度分析三维（3D）特征。此特征允许对任何大小和形状的特征进行参考级几何测量。它配备了方便用户的笔记本电脑和完全集成的用户界面板，简化了用户对资产控制的访问。该模型还包括其他功能，如自动晶片放置、自动晶片识别、具有从设备获取数据选项的模拟/数字处理器、老化功能库以及配置自定义操作参数的能力。METAPULSE III 300 XCU晶片测试和计量系统是进行快速计量和晶片表面分析的理想工具。其集成的硬件和软件使其易于设置,用户友好的界面简化了对单元功能的访问。ADV数据分析处理器和双光束机（DBS）光学器件可提供快速可靠的晶圆测量和表征,为客户提供可重复的结果。