二手 RUDOLPH Metapulse #9157665 待售

RUDOLPH Metapulse
ID: 9157665
晶圆大小: 8"
Thickness measurement system, 8".
RUDOLPH Metapulse是一种晶圆测试和计量设备,设计用于监测晶圆在生产过程中的性能和质量。它能够测量广泛的特性,如表面粗糙度、线性度、晶片厚度、蚀刻速率、间距和位置精度、图桉精度、临界尺寸、表面地形、原子密度和表面污染。该系统利用多种物理和电气测量和仪器,包括能量色散X射线分光光度法、扫描电子显微镜、光热成像、激光干涉测量、聚焦离子束成像、临界尺寸扫描电子显微镜和纳米扫描电镜。利用这些工具,RUDOLPH META PULSE提供了晶圆结构的高度详细的图像,并以1纳米或更高的精度检测检查。该单元还具有几个高级功能,使操作员能够快速诊断缺陷,并在处理参数影响最终产品之前对其进行调整。这包括提供图像增强、自动化规则、实时峰谷检测和轮廓分析的高级缺陷检测套件。此外,用户可以快速使用特定于上下文的工具来执行一系列应用,例如曲面分析、模具级计量、层分析、包映射以及应力和应变测量。Metapulse machine)是一种综合性的、高精度的晶圆测试和计量工具,具有先进的特点,使其适合多种行业,包括微电子、光伏、微机械和医疗设备制造。受保密政策保护,资产还可用于研发,确保以最高效的方式交付最高质量的产品。
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