二手 RUDOLPH MP 200XCU #9250762 待售

RUDOLPH MP 200是一种晶圆测试和计量设备，为IC和MEMS设备提供准确而全面的测量数据。该系统由具有聚焦离子束（FIB）技术的扫描电子显微镜（SEM）、激光干涉仪（Interferom）或激光扫描共聚焦显微镜（LSCM）以及集成了用于电路和设备地形分析的硬件和软件的激光扫描电子显微镜（LSCM）组成，以及一个广泛的用户友好的自动测量软件包支持。MP 200旨在满足现代半导体器件的小型化需求，从电气、光学、磁性和X射线分析提供了广泛的分析能力。该单元配备了用于成像、分析和计量的高分辨率SEM。其FIB技术能够进行电气测试所需的精确模式修改。激光干涉仪能够精确测量晶圆平面度和临界尺寸（CD）的变化，而共焦显微镜提供任意定向设备的3D可视化。对于手动测量,该工具配备了一个多功能探测站,其中包括两个用于精细对准的4轴级。探测站提供有关晶圆几何形状、轮廓形状和层厚度的定量信息。它提供了一套探测和成像工具，以自动化操作和挑战尺寸精度的既定标准。RUDOLPH MP 200还包括一个易于使用的图形用户界面，允许用户快速设置复杂的实验，或者使用直观的样本图像库模拟测量。此GUI还包括用于数据后处理和报告的许多分析工具,以及用于自定义实验过程的用户定义逻辑。总之，MP 200提供了一套全面的测试和计量能力，以满足现代半导体技术的需求。其强大的硬件、直观的软件和用户友好的GUI为获取有关IC和MEMS设备的全面数据提供了经济高效的解决方桉。