二手 RUDOLPH MP 300 #9392797 待售

RUDOLPH MP 300是一款设计用于半导体工业的高端晶圆测试和计量设备。该系统使用激光计量工具精确测量晶圆参数，以确保制造芯片或集成电路（ICs）的过程保持正常。计量工具包括各种各样的任务，如控制晶片上模具的对准、测量蚀刻前后晶片的尺寸、电阻器或薄膜的受控失真、有源器件的长度和宽度、金属线的精确放置以及电性能分析。该单元由光学显微镜、电动XY级、扫描电子显微镜（SEM）和各种软件包组成。显微镜提供了Macro、Midfield和Micro成像模式,分辨率高达50%低于1纳米。这种特性使得机器非常适合计量非常小的特性，如超细金属互连。XY级可以对晶片进行精确的相对定位,而SEM可以对内部和横向特征进行更高的放大和成像。除了计量能力外，该工具还附带了多种软件包，包括Thermionics、IC测试仪、Theta和Gauss Meter。这些软件包为缺陷分析、信号分析、故障分析、模型参数比较、统计分析和测试结果报告提供了先进的功能。该软件设计为用户友好,具有直观的图形用户界面和易于使用的向导,使数据采集和分析非常简单。RUDOLPH MP300是一种坚固可靠的资产,专为满足大批量生产要求而设计。适用于各种芯片制造工艺，从最先进到最基本的要求。该模型由行业领导者制造,由专门的客户支持团队提供支持,并具有可靠的可靠性和性能记录。