二手 RUDOLPH MP1-300 #9401099 待售

ID: 9401099
Film thickness measurement system.
RUDOLPH MP1-300是一种先进的晶圆测试和计量设备,旨在提供最高的精细特征分析分辨率。这个先进的系统利用了微观定位阶段、高分辨率光学显微镜以及一系列测量晶圆基板上小特征的综合测量选项。MP1-300具有灵活的微定位级,能够达到15米的行程范围、亚微米级分辨率以及集成的XYZ电动扫描表。这种精确的阶段定位装置允许将样品的各个区域精确放置在显微镜下,同时实现精确的测量并保证可重复性。RUDOLPH MP1-300还提供了具有亚微米分辨率的高分辨率光学显微镜。这种先进的显微镜能够快速和精确地测量晶圆基板上的微结构。此外,MP1-300内的数字图像自动化使用户可以使用数字场景分析算法访问各种测量选项。这些算法提供晶圆模式、工艺缺陷和其他微观结构的自动分析,同时不断监测样品基板的各层。此外,RUDOLPH MP1-300还配备了高速数据采集、图形用户界面和测序。数据采集用于从光学显微镜捕获采样数据,使用户能够快速检查测量和趋势。此外,图形用户界面为快速浏览功能提供了直观的用户体验。测量的排序使机器能够自动从采样区域移动到采样区域,从而提高测量的速度和准确性。总体而言,MP1-300是晶圆测试和计量需求的完美工具。它提供出色的测量能力,并为各种测量提供精确、准确和可重复性。此外,资产的快速数据采集使其成为分析研究和生产应用中的复杂特征集的理想选择。
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