二手 RUDOLPH MP1 #9397713 待售

RUDOLPH MP1是一种独特的晶圆测试和计量设备，用于挑战半导体和MEMS制造中的过程控制、高级计量和缺陷检测应用。它被设计为验证过程控制和推进缺陷检测性能的经济高效的解决方桉，以及用于高级研发（R&D）任务的可靠系统，提供高精度晶圆扫描、缺陷表征和自动成像的强大组合。MP1具有广泛的高级缺陷检查功能,包括自动晶片处理和扫描、缺陷分类、自动激光测量和成像,以及功能强大的数据分析工具。该单元配备了一个高分辨率的RGB相机，用于捕捉缺陷的彩色图像，并使用户能够通过扫描模式将相机移到样品上方来放大和缩小晶片上感兴趣的区域。这一特征使得能够表征细微的缺陷，例如那些具有圆形边缘的缺陷，这些缺陷很难用常规系统进行检查。RUDOLPH MP1还具有高性能的自动晶圆处理机，旨在确保精确对准并加快测试过程。此工具能够处理直径不超过8英寸的晶片,扫描孔径不超过200 x 200 mm,为测试提供了充足的空间。MP1还提供了一套功能强大的硬件和软件工具，用于自动缺陷检测和分类，可用于检测和分类各种缺陷，如空隙、污染物、残留物和地下缺陷。RUDOLPH MP1还提供了一套高级计量功能,使用户无需专门的工具即可获得线宽和空间宽度、轮廓高度、Z轴精度和平坦度等功能的可靠测量。这种精密的计量资产可以用来表征晶圆上广泛的结构特征，如线宽、密度、信号完整性和图样特征。总之，MP1是一个先进的晶圆测试和计量模型，旨在提供高效可靠的过程控制、先进的缺陷检测和表征能力以及强大的计量特征。它配备了一系列先进的硬件和软件工具，能够处理各种直径可达8英寸的晶圆，为测试提供了充足的空间。该设备易于使用，可用于检测和分类各种缺陷，以及精确测量晶片上的结构特征，使其成为挑战过程控制、先进计量和缺陷检测应用的理想解决方桉。