二手 RUDOLPH MP3-300A #9401492 待售

ID: 9401492
Film thickness measurement system, 12" 2012 vintage.
RUDOLPH MP3-300A是一种高端晶圆测试和计量设备,设计用于先进的半导体制造工艺。该系统能够进行临界测量,包括临界尺寸(CD)和轮廓,以及一系列其他晶圆参数,如表面粗糙度、表面地形和缺陷分类。该单元基于直接驱动级,具有高精度和可重复性,以及复杂的光学设置。这使得机器测量晶片具有高度的精度和准确性,并提供可重复的结果。MP3-300A具有独特的四向模式识别工具,使其能够快速准确地检测和识别缺陷。这一关键阶段的检查过程是由光学和光源组成的综合工具辅助的,该工具提供有关晶圆表面状况的形式关键数据。然后可以与其他系统和过程共享这些结果,以进一步了解晶圆的状况。该资产在数据输出和分析方面也是全面的。提供了一系列选项,例如图表、图形分析、直方图和趋势分析以及报告,以确保用户能够访问他们需要的所有关键数据,以确保高质量的生产和操作。该模型还允许进行各种3D表面检查。为此,设备包括大量附件,包括专门的检查头、级和探针校准,使其能够对晶片的整体状况进行彻底和准确的评估。再者,RUDOLPH MP3-300A的大型触摸屏监视器可以方便直观的操作。这样就可以用最小的努力和输入完成设置,从而能够快速准确地测试晶片。此外,该系统在生产和吞吐量方面具有灵活性。这是通过一个专用的"作业选择器"任务来执行的,该任务使设备自动进行可重复运行,以实现最高的效率。简而言之,MP3-300A是一种高端晶圆测试机,设计用于测量各种参数,精度和精度都很高。该工具可确保快速准确地识别缺陷,并允许复杂的3 D表面检查和结果分析。此外,资产还提供了一系列功能,可帮助进行设置和操作,从而确保高质量的输出和最大的吞吐量。
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