二手 RUDOLPH / ONTO INNOVATION MP3-300XCU #9375220 待售

ID: 9375220
Film thickness measurement system Process: Metrology.
RUDOLPH/ONTO INNOVATION MP3-300XCU是一种专门的晶圆测试和计量设备,设计用于精确表征半导体晶圆的表面和厚度。它是一个基于激光的计量系统,具有先进的光学和10纳米分辨率,允许精确,非接触测量到纳米尺度。RUDOLPH MP3-300XCU配备了专有的3D计量算法,提供晶圆表面的类似地图的图像。其自动扫描过程包括覆盖整个晶圆表面的多位置XY扫描级和检测微粗糙度和晶圆厚度的z轴级。该装置的激光技术赋予其独特的优势,如检测精细的表面特征、精确测量ithlinear特征、测量多级步高、对亚微米特征进行高度剖面测量等。ONTO INNOVATION MP3-300 XCU的软件既方便用户又复杂,使用户能够轻松访问各种分析和报告选项。直观的界面允许用户以可定制的方式配置其测量参数,访问存储的屏幕图像库进行比较或分析,并根据实时计量测量的反馈即时修改其设置。借助集成跟踪机,用户可以轻松实时监控计量处理活动。利用MP3-300XCU有许多优点。该工具提供了一种成本效益更高、耗时更少的晶片表征方法,并且非接触式方法消除了损坏细腻晶片表面的风险。先进的计量学还通过捕捉和分析晶片的细微差别,提高产量和性能,促进了产品质量的提高。RUDOLPH/ONTO INNOVATION MP3-300XCU具有基于激光的高端计量功能,是精确测量半导体晶圆的理想资产。其优越的光学分辨率、用户友好的软件和全面的跟踪能力使其成为全面晶圆测试和计量的最佳工具。
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