二手 RUDOLPH S200 #9157249 待售

RUDOLPH S200是一种晶圆测试和计量设备，设计用于研究实验室、工业和生产测试应用。凭借其创新的设计，能够以前所未有的精确度精确地测量出薄薄晶片的电阻和电容。RUDOLPH S 200系统具有200 mm AFM 6 MHz、8位精密电流测量头，支持广泛的测试电压和多达16个可重复采样点。这与专有的2轴晶片调平单元和线性测量时基相结合，允许对薄晶片和厚晶片进行精确和可重复的非接触测试。该机易于使用的设计还采用了大触摸屏显示屏，便于操作。为了提高准确性和可重复性，S200采用了一个负零化过程，在进行测量之前快速、精确地将测试头设置到其原点。此过程确保晶片对施加电流的响应被精确测量。该工具还具有高速测量资产,它使用高级测量算法来确保所收集数据的精度和可重复性,即使是长期测试也是如此。S 200还具有高性能的光学计量和分析功能,能够对纤薄晶片进行成像和对无缺陷表面进行详细分析。采用角度分辨散射显微镜的组合，利用亚微米分辨率检测和精确测量缺陷。此外,RUDOLPH S200还提供最新的晶圆测量,用于蚀刻深度表征和临界尺寸（CD）测量。总体而言，RUDOLPH S 200为研究实验室、工业和生产测试应用提供了无与伦比的精确度和可重复性。其创新的扫描头经过精心设计，以实现最佳的精度和可重复性，而其高端光学计量和分析功能使用户能够以无与伦比的精度快速、轻松地检测和测量表面缺陷和CD测量。