二手 RUDOLPH WS 2500 #9096699 待售

RUDOLPH WS 2500是一种高端晶圆测试和计量设备，设计用于提供晶圆参数的精确测量。它是一个全自动系统，具有负载端口，集成晶圆处理，晶圆prober和光学计量单元。WS 2500可用于评估实际设备结构,并对与成品设备的产量和可靠性相关的各种工艺参数进行表征。RUDOLPH WS 2500包括一台高分辨率/高精度光学计量机，用于测量晶圆上感兴趣的特征。计量工具包括具有可变聚焦的精密扫描仪，能够测量从纳米到微米以及非均匀位置的特征大小。资产的分辨率高达0.5 nm,可重复性为0.2 nm。它配备了多种可用于分析数据和设计解决方桉的软件模块和程序。集成晶圆处理模型旨在确保晶圆的精确定位,并最大程度地减少损坏和浪费。设备装有双甲板自动装载机，允许一次插入两个晶片，以便快速进入和装载。除了自动晶片测量程序外,集成的晶片还能够快速交付晶片。晶圆探测器能够测量许多参数，如电阻率和表面地形，具有很高的精度。WS 2500是晶圆制造公司的理想选择,这些公司希望评估工艺参数、诊断和防止缺陷,并确保成品设备的产量和可靠性。该系统也适用于研究机构和希望监测过程和提高产量的大学。健壮的设计和集成的软件模块允许各种应用,如表面粗糙度、电气和光学表征、过程监控、平坦度分析和统计分析。这可用于深入了解过程优化、故障分析、新产品开发等。