二手 RUDOLPH WS 3840 #9198059 待售

RUDOLPH WS 3840是为半导体器件制造、工艺开发和工艺控制而设计的先进晶圆测试和计量设备。该系统提供了广泛的高度精确的测试和过程控制功能,使用户能够有效地检查和分析其晶圆过程的各个方面。该单元包括一台具有高速、变焦能力、快速聚焦机动化物镜的高端计算机控制显微镜和一个用于引导显微镜和数据采集的交互式软件包。高质量的光学显微镜提供了优越的场均匀性和较少的边缘畸变，允许最精确的分析样品特性。光学设计还采用了创新的4x5x10 mm、0.08 μ m远心镜头,即使在极端放大的情况下也能提供前所未有的分辨率和准确性。该机器采用多种自动化测试和计量技术，包括高分辨率成像、自动边缘检测、集成光谱成像、高精度衍射成像和广泛的模式识别算法。该工具还配备了软件模块，用于自动校准和选择聚焦长度、照片尺寸、位置、孔径大小和聚焦类型等显微镜参数。资产提供了对平台的全面控制，以详细分析制造过程中的各个步骤，如晶圆检查、光刻、蚀刻、干条、湿条和缺陷审查。该模型还提供了几种快速检查测试样品的方法，如迭加计量、模具图像分级和临界尺寸计量。该设备着重于在纳米级提供精确的测量，即使在处理小特征时也是如此，这在测量和检查方面可能具有挑战性。该系统旨在以0.2到0.5nm的分辨率解析细节,使用户能够获得非常准确的结果。此外,该设备的软件设计用于快速准确的数据采集,最多可同时测试和监控8个晶圆。综上所述，RUDOLPH WS3840是一种用途极为广泛、精度极高的晶圆测试和计量机器。凭借其强大的显微镜、自动化测试和计量技术以及创新的软件功能，这款工具是半导体行业精确测量的理想选择。