二手 SCI FilmTek 2000 #9186490 待售

SCI FilmTek 2000是一款功能强大的晶圆测试和计量设备，旨在提供对一系列半导体和光伏晶圆加工参数的先进、准确的测量。该系统的核心是FilmTek 2000 Unit Core模块，由强大的多核处理器提供动力。该处理器提供高精度的数据处理,以及对机器的强大实时控制。它可以配置为最多容纳八个不同的光学检查头。该工具配备了包括可见系统、近红外光谱（NIR）、扫描电子显微镜（SEM）在内的多个先进光学系统。Visible Systems光学封装包括明暗场光学检查，测量晶圆反射率和散射角度，以精确测量一系列计量特征，如干蚀刻残留物、纳米结构均匀性和电子束光刻（EBL）特征。NIR资产用于测量薄膜厚度,而SEM模型允许对材料和工艺进行详细分析,并可用于测量临界尺寸。各种抽样阶段可用于测试操作。备选方桉包括手工和自动化阶段；对于手动阶段,用户可以使用操纵杆或手轮实时调整参数。设备还可以容纳两轴机械级，用于大面积检查。系统的温度范围由闭环PID环控制，确保在最佳条件下进行测试和测量。一个集成的高精度显微镜版本，提供高达1微米的样品参数精度。有多种软件可用于数据收集和分析,包括ImageJ、STK11和SYNPRO。测试生成的数据可以存储和分析在机载设备上,也可以传输到外部数据库。SCI FilmTek 2000 Machine Core有多种配置,可根据特定客户需求和应用程序需求量身定制。它非常适合工业研发实验室，以及研发和晶圆加工设施。