二手 SDI SPV 1010 #138847 待售
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SDI SPV 1010是一种晶圆测试和计量设备,设计用于产生晶圆的亚微米测量。利用光学干涉测量技术,该机能够在半导体加工制造任务中提供高精度、重复性和分辨率。该系统由采样级、照明源和照相机/光学单元组成。样品级能够处理直径达200毫米的晶片。照明源能够提供背光、顶光和侧光照明,目的是进行平坦度、凹槽或位置测试。相机/光学机器包含CCD相机、物镜和DMD镜。SPV 1010还有利于晶圆的表面粗糙度和横截面表面质量分析。利用直接平面技术(DIPT),可以对晶片表面进行表面粗糙度、表面形状误差等影响的纳米测量。基于斑点的高级干涉测量(SPI)技术也用于工具的表面测量。SDI SPV 1010结合了图像处理算法,包括全局和局部特征(GLF和LCL),以确定测量样品时最合适的参数。这样可以确保测量的准确性和可靠性很高。SPV 1010的硬件与控制机器运行的软件集成在一起。直观的图形用户界面使用户能够轻松操作,并且无需事先了解资产即可访问所有功能。该软件还能够收集和显示统计数据以供分析。总体而言,SDI SPV 1010是晶片测试和计量的可靠工具,可用于扫描大晶片、缝合表面和光学图像对准。该模型在半导体质量保证和检验以及晶圆级光电子和微电子工业中有广泛的应用。
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