二手 SDI SPV 1010 #9061419 待售
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SDI SPV 1010是一种晶圆测试和计量设备,用于评估半导体基晶圆的质量。该产品提供了一系列分析功能,包括表面高度测量、光学成像、表面平面度映射和特征特征。该系统的表面高度测量功能允许对晶圆表面进行精确的3D成像和测量,并支持需要严格尺寸控制的超高精度的高级过程。为了确保准确和可靠的测量,该设备提供了自动降落程序,以确保精确定位Z和三个Z轴电容式传感器。光学成像功能使用户可以详细了解晶片的表面图样和拓扑结构。这是使用两台26厘米成像相机完成的,可提供高达20倍的放大倍率和12.5 µm的横向分辨率。此外,照明机采用明亮的Köhler照明,配有白色LED和荧光灯进行适当照明。该工具还具有表面平面度映射功能,它提供有关晶圆表面地形的可视化和定量信息,包括平面度、非均匀性和方差。通过使用算法,资产可以检测晶圆表面的特征(例如颠簸和空隙)。最后,SPV 1010的特征表征功能使用户能够了解晶圆的形状、大小和结构。这是通过利用各种高级算法来实现的,例如基本属性、特征辨别和3D可视化。总而言之,SDI SPV 1010是一种针对半导体行业人士的稳健晶圆测试和计量解决方桉。它的表面高度测量、光学成像、表面平面度映射和特征表征能力确保了晶圆的准确和详细的分析,从而有助于工艺的优化和问题的识别。
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