二手 SEMILAB EIR-2201 #293802484 待售
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ID: 293802484
晶圆大小: 6"
FT-IR System, 6"
(2) Open cassette load ports
X-Y Mapping stage: 200 mm
3-Color signal tower
HMI
Utility specification:
Connection type: Swagelok female
Utility type / Connection size / Pressure / Flow
Nitrogen N2 / 3/8" / 550-830 KPa / 3-5 SLM
Nitrogen exhaust / 1/2" / - / 4 SLM
Vacuum / 3/8" / -65 KPa / 15 SLM
Clean Dry Air (CDA) / 3/8" / - / 10 SLM
Environment and vibration specification:
Ambient temperature: 20° to 25° C
Humidity: Between 20% and 50%
Vibration sensitivity: VC-B
Maximum power consumption: 1.5 kW
Full load current: 17.5 A / 8.3 A
Apparent power: 575 VA
Power supply: 110-230 VAC, Single phase, 20 A, 3 Wires, 50/60 Hz.
SEMILAB EIR-2201是一种先进的晶片测试和计量设备,在测量半导体晶片的各种参数时提供高精度和精确度。这款先进的工具融合了最先进的技术,为半导体制造商提供了快速高效分析和表征晶片的能力,确保了高质量半导体器件的生产。EIR-2201的核心是其先进的光学和电气测量能力。该系统利用椭圆偏振法、反射法和光谱成像等技术的组合来捕获晶圆表面物理和化学性质的详细信息。这些测量对于了解正在制造的半导体器件的结构特性、材料组成和性能至关重要。SEMILAB EIR-2201的主要特点之一是能够对各种尺寸和材料的晶片进行无损测量。该单元旨在处理标准和先进的半导体材料,包括硅、复合半导体和薄膜。这种多功能性使半导体制造商能够分析各种晶圆类型和结构,而无需多种测试工具。在计量能力方面,EIR-2201提供了很高的空间分辨率和灵敏度,允许对晶圆表面上甚至最小的特征进行详细分析。该机能够以微米级精度绘制出厚度变化、折射率等参数,为半导体材料的均匀性和质量提供有价值的见解。此外,SEMILAB EIR-2201还配备了先进的数据分析和可视化工具,使用户能够有效地处理和解释测量数据。该工具可以生成详细的报告、图形和图像,帮助半导体工程师和研究人员了解晶片的特性,并就过程优化和设备设计做出明智的决策。EIR-2201的另一个显着特点是其用户友好的界面和自动化功能。该资产旨在简化晶圆测试过程,允许用户轻松设置实验、运行测量和分析结果。其直观的软件界面在定制测量协议和参数以适应特定测试要求方面提供了灵活性。此外,SEMILAB EIR-2201还配备了高级数据管理和连接选项,能够与半导体制造工作流实现无缝集成。该模型可以与其他设备、数据库和软件工具进行通信,以简化数据传输和分析,确保生产环境中的高效协作和决策。总之,EIR-2201是一种先进的晶圆测试和计量设备,它结合了先进的光学和电气测量技术以及高精度和自动化能力。其多功能性、准确性和用户友好的界面使其成为寻求优化其设备质量和性能的半导体制造商必不可少的工具。
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