二手 SENSYS SMS-2000 #144008 待售

SENSYS SMS-2000是一种晶圆测试和计量设备,专为要求苛刻的半导体应用而设计。它提供了无与伦比的主轴和全局平面,以及卓越的分析和晶片边缘检测功能。它采用全自动晶片处理和晶片传输系统，减少了人工晶片测试和计量相关的劳动密集型操作。该单元由一台自动物理和无损晶圆转换机（WTS）、两个控制机箱和两个手动装卸站组成。该WTS提供精确的运动控制,允许精确和可重复的传输测试基板.三个跟踪级控制点测量狭缝和主轴参数，允许高精度测量晶圆。平面分析和晶片边缘检测模块与WTS集成，测量晶片的全局平面度，识别边缘损伤或异物颗粒。SMS-2000支持各种计量、成像和测试应用,包括3D非接触式计量、临界维度（CD）计量和计量缺陷检查。它可以评估各种缺陷类型和大小，因此可以用于分析具有高密度内部电路和多重计量应用的IC。再者，由于晶圆汇率快，适合大批量生产先进的微电子器件。该工具具有高分辨率测量资产，可精确表征纳米级器件。它配备了增强型光学器件和高功率激光束，允许对来自半导体薄膜结构的衍射受限图像进行高精度成像。此外,它还支持专有的Multi-Function Analysis,它允许比传统的单功能分析更快速地进行测量。除了技术功能外,SENSYS SMS-2000还提供了一个强大的软件界面,便于将模型集成到更高级别的软件套件中。其方便用户的菜单提供快速直观的设备设置和数据分析访问。此外,还可以将系统配置为创建一系列报告,包括全面的测试结果、摘要统计信息和比较数据。总体而言,SMS-2000是一个特殊的晶圆测试和计量单元.它易于设置,提供精确的结果,并提供前所未有的可靠性。因此，它是要求苛刻的半导体应用的理想选择。