二手 SHB INSTRUMENTS 110-2 #9203528 待售
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SHB INSTRUMENTS 110-2是一种晶圆测试和计量设备,在一系列应用中为高性能和准确性而设计。其主要特点是全自动化的两级光学测试系统,可以分析各种晶片类型,从小块半导体到大面积测试和大面积工艺晶片。该单元由晶片级和计量机这两个关键组件构成,它们是无缝集成的,以创建高效可靠的测试平台。晶片级作为测试时锚定和定位晶片的手段,能够处理薄基片。它配备了高精度的电动Z级,在XYZ轴中定位晶片时可以达到亚微米精度。可以将waferauto处理程序添加到晶片级,使其能够将多达八个晶片移动到测试站上。计量工具执行晶片的实际测试。它配备了高精度显微镜、硬件加速传感器和用于测量缺陷区域、厚度和平坦度的专门软件。它还能够检测非视觉表面缺陷,如非均匀性、非接触、桥键和缺陷模式。资产最多可操作三维(X、Y、Z)同时测试,每秒最多可操作8个样本。110-2的设计提供精确的结果,重复精度和可重复性分别为0.1 μ m和0.05 μ m。该模型采用强大的自动化数据处理体系结构构建,允许它在需要重置之前连续运行长达一个小时。这种可靠高效的测试设备使用户能够快速、轻松地获得准确可靠的结果。
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