二手 SHIBAURA AutoEL-Ⅲ #293616277 待售
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SHIBAURA AutoEL- Ⅲ是一种先进的晶圆测试和计量设备,具有很高的吞吐量和准确性。该系统能够检查各种环境中的各种晶圆宽度和厚度。该单元的主要特点包括高视觉分辨率、多站点采样、高吞吐量、低维护以及全方位的计量和测试选项。该机器采用模具到模具检验工具,允许实时晶圆级测试和计量。此资产最多使用四个激光器进行各种测量,包括厚度、高度和宽度。它还具有一系列传感器,用于对准和聚焦晶片,以及用于检测缺陷和捕获关键特征。此外,该模型还提供晶圆索引、20 nm以下的精度以及实时晶圆级测试和计量。AutoEL-Ⅲ还具有许多自动化功能,使其易于使用和维护。这包括简化编程和交互性的"Auto-gui"软件包,以及允许在同一晶圆上进行多次测试运行的自动化对齐设备。此外,系统还具有自动进纸和弹射功能,以及各种对齐和测量功能。该单元还提供各种屏幕数据监控选项,允许用户即时比较和分析测试结果。还可以生成许多报告,包括晶圆图、故障摘要和晶圆基本结果。计算机还提供USB端口,用于将工具链接到PC或其他主机设备。SHIBAURA AutoEL- Ⅲ是高容量晶圆测试和计量的完美解决方桉。它结合了速度、精度和灵活性,成为高吞吐量、多站点采样、实时晶圆级测试和计量的理想工具。此外,该资产提供低维护和直观的用户界面,使其成为任何晶圆测试和计量应用的绝佳选择。
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