二手 SIEMENS WalkAway 96Si #9231383 待售

SIEMENS WalkAway 96Si晶圆测试和计量设备是一个功能齐全、自动化的在线测量系统,旨在最大程度地提高吞吐量,同时提供可靠的性能和准确的结果。96Si单元结合了高精度的光学测量、先进的缺陷成像和自动晶圆处理，提供了全面的晶圆工艺和检测解决方桉。该机能够测量长度达930mm、直径达630mm的晶片，并能同时处理多达6个晶片。该工具具有基于激光干涉仪和多个散射计量通道的多传感器光学计量资产，提供高精度的3D表面计量。该96Si还具有一系列缺陷成像功能，包括高分辨率检查和光学显微镜，能够自动识别和分类各种缺陷，从小至单原子大小的缺陷到最大的常见缺陷。此外，该模型能够在单个晶圆上定位多达十个网格，共4600针，从而提供高度精确和可重复的晶圆定位和映射。96Si设备完全自动化,提供集成晶片处理、自动缺陷审查和详细的交叉晶片分析功能。集成热控制系统可保持样品温度稳定,以最大程度地减少高精度测量过程中的失真,同时自动校准过程可确保结果的准确性、重复性和可靠性。此外,该单元能够与主机计算机接口,使晶片能够直接传送到机器或通过输送机传输,状态监视和警报报告直接生成到主机工具。96Si资产提供了准确可靠的晶圆处理所需的业界领先的自动化和测量功能。该模型旨在最大限度地提高效率,使用户能够以最短的设置时间和维护要求对各种自动化例程进行编程。96Si的集成晶片处理、缺陷成像和先进的计量特性确保了准确可靠的测量结果，从而改进了工艺控制、产量优化和晶片质量保证。