二手 SLOAN Dektak 303 Auto II #9124954 待售
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ID: 9124954
Thin film measurement system
Measuring range: 100 A to 1310KA
Vertical resolution: 1A in the 65000A
10A in the 655KA
20A in the 131 Micron
Data points per micron: 0.04 to 40
Scan length: 50 microns to 50 mm
Leveling: 2 point programmable or cursor leveling
Maximum sample thickness: 1.75 inches
Sample stage diameter: 6.375 inches
Stylus: 12.5 micron.
SLOAN Dektak 303 Auto II是一种自动化设备,设计用于测量各种半导体器件的步高。这种用途广泛、成本效益高的系统配备了先进的光学显微镜和数字成像能力,能够精确测量从接触剖面到半导体基板平面的垂直运动。该装置能够以高精度测量高达一微米的特征尺寸,非常适合测量各种厚度和基板中晶片的步进高度。该机采用配有远心物镜和倾斜相机支架的光学显微镜,为用户提供晶圆表面的高放大倍率视图。镜头设计为将接触点的清晰图像投射到图像平面上,同时最大限度地减少图像失真和光学像差。此外,该工具还利用双轴计算机控制的自动对焦资产,确保准确测量每一个特征。整个模型通过图形用户界面(GUI)使用彩色显示器、键盘和鼠标输入操作。这种直观的设计为用户提供了对测量过程中所有精度步骤的控制,包括阶段移动、z高度校准、传感器校准和聚焦。此外,该设备还包括用于跟踪、测量和分析样品基板上不同位置晶片的软件算法。Dektak 303 Auto II还配备了高分辨率CCD成像标线,提供了样品表面的精确视图,使用户能够以高精度测量步高。标线的可调位置可以让使用者控制视野,使其适合广泛的基板和尺寸。此外,系统能够存储每个字段多达256个测量值,从而实现重复测量并减少收集数据所需的时间。总体而言,SLOAN Dektak 303 Auto II是一种有效的晶圆测试和计量工具。该单元结合了先进的光学显微镜和数字成像技术,非常适合以高精度和重复性测量步高。其直观的图形用户界面和可调节的标线使机器人性化,易于操作,适合广泛的应用。
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