二手 SOLARIUS LaserScan 300 #293596806 待售

SOLARIUS LaserScan 300
ID: 293596806
Laser profilometer Upgraded to laser scan system.
SOLARIUS LaserScan 300是一种晶圆测试和计量设备,为半导体器件和工艺开发提供快速、准确、非接触式计量。该系统基于完全模块化的设计,提供了非常高的性能水平。该装置在纳米级提供精确度,能够测量小于100纳米的特征。这使得机器非常适合测量高级结构,如超浅连接、3D结构和地下缺陷。其高分辨率成像能力提供了底物特性及其特性的全面视图,可用于识别缺陷、优化工艺和提高产量。该工具配备了高速、高分辨率扫描仪和双光束激光束源,提供了以非凡的速度和分辨率测量特征的能力。它具有超高精度的计量功能,可用于扫描电子显微镜和光学图像,如深度剖析、电压测量和相位对比成像。LaserScan 300还包括创新的数据分析功能,为识别缺陷、参数和去除效果提供了强大的工具。该资产还结合了超低型晶片堆迭模型,允许快速的样品变更和高吞吐量测试。此外,此设备还包括用于控制每个示例的样本处理、设置和元数据管理的软件。这样就可以提高操作员的安全性,同时提供整个过程中每个阶段的完整文档和可追踪性。SOLARIUS LaserScan 300是半导体行业人士的理想解决方桉,为晶圆测试和工艺开发提供了经济高效、可靠的选择。其高性能、快速的数据采集和无与伦比的准确性使其成为最先进的晶圆测试和计量要求的杰出选择。
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