二手 SONOPLOT GIX Microplotter II #9188394 待售
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SONOPLOT GIX Microplotter II是一个最先进的晶圆测试和计量系统。它设计用于薄膜、微米尺寸的器件甚至纳米结构上的高精度测量。Microplotter II是一种用途极为广泛的工具,能够提供高级设备的工艺开发、鉴定和生产所需的所有测量和数据。Microplotter II利用四个独立和隔离的轴进行精确定位和高速测量。它具有25毫米XY级,分辨率为1纳米的Z级,0.2 µm精度的两个激光focii,集成高速相机,以及可移动的光路。这项先进的技术可实现广泛的应用,包括CD/OCD测量、步骤分析、材料成分分析、产量监测等。ERD先进的SmartCorr技术提供了高度精确的双相关测量。SmartCorr使用两个内置相关算法的臂,在宽广的区域内测量多个参数。它还集成了功能强大的ICPE软件,使用户能够在大面积上快速、自动化、无损和高分辨率地测量步高、薄膜厚度、半导体薄膜结构和其他参数。该设备还能够与SEM、FIB、AFM和其他分析系统集成,以获得最高的准确性和灵活性。而且,直观和用户友好的UI允许用户传递复杂的命令,以及程序和存储生产工作流。其他功能包括LabVIEW支持、完整的数据控制、多种可编程自动化选项、多种专用和可定制的数据类型、多种通信协议、Windows兼容性以及众多反馈控制选项,以提高准确性和精度。GIX Microplotter II是一个强大可靠的系统,非常适合晶圆测试和计量在研究、生产和制造中的应用。它采用了最新技术,是进行高精度测量的理想选择。
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