二手 SSM 150 SRP #96656 待售

SSM 150 SRP是一种精密的晶片测试和计量设备，设计用于快速准确地收集有关晶片物理和电气特性的高级统计信息。该系统采用高性能扫描电子显微镜，内置多通道光谱仪，一次操作即可实现精确成像和化学分析。该设备结合了强大的硬件、软件和独特的成像技术,可同时扫描每个晶圆多达1000个站点,分辨率低至50 nm。它使用户能够测量扫描区域的精确物理参数，包括其组成、表面地形和缺陷，以及电性能，如薄片电阻和泄漏电流。此信息用于创建每个晶片性能的详细说明,并优化流程以提高效率和产量。此外，该机配备了一种专有的自动聚焦算法，在晶圆曲率和污染不同的情况下保持成像质量，显着提高了结果的准确性和可靠性。此外，集成的多通道光谱仪能够从电子束收集临界光谱数据。来自电子束的光谱信息可以用来建立一个原子级图象，说明在原子级发生的事情，包括元素组成和缺陷表征。150 SRP能够在高真空条件下运行,并具有可延长运行时间的集成冷却工具,从而提高了测试的可靠性和可重复性。此外,它还具有快速的数据采集速率、直观且用户友好的界面,并包括可选的外部组件（如探测器和操纵器）,以进一步扩展设备的测试功能。总体而言，SSM 150 SRP是一种可靠且用途广泛的晶圆测试和计量资产，可以快速准确地收集高级统计信息。它的功能使用户能够测试各种材料和设备,从而优化流程并提高产量。