二手 SSM 470i #9157376 待售

SSM 470i晶圆测试和计量设备是一个综合系统，旨在提供对半导体和相关材料的高精度、可重复的测量。它由三个主要组成部分组成：光学检测装置、测试夹具和集成数据采集单元。光学检查装置使用多种显微镜和放大镜来识别缺陷，分析晶片表面的细微特征，如线宽、蚀刻深度、表面应变等。这是通过记录来自晶圆的采样区域的图像，然后应用软件算法来准确分类和量化特征来完成的。测试夹具设计用于将样品晶片精确定位到光学检测设备上,并提供集成的加热/冷却功能,以实现最佳成像条件。使用步进电机和微型定位器，夹具还能够确保样品晶片相对于显微镜的精确对准。集成数据采集机负责捕获和存储获取的数据，这些数据最终用于工具生成的计量报告。数据采集资产还包括用于设置参数、控制模型和分析获取数据的内置软件工具。综合起来，470i晶片检测计量系统的光学检测装置、检测夹具、集成数据采集设备使其成为故障检测、晶片检测、计量分析等功能强大、可靠的单元。通过其高精度和重复性，该机能够产生精确、一致的测量结果，可用于关键的下游过程，如优化工艺参数或产量分析。