二手 SSM 490i #9407979 待售
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SSM 490i晶圆测试和计量设备是半导体器件和材料无创测试和计量的集成工具。该系统结合了光学计量学和基于COTS的传感器,对晶圆材料进行全面分析,具有很高的精度和精确度,测试每个晶圆的尺寸、应力和性质。490i适用于测试和计量应用,从过程效率测量和检测阈值测试到材料识别和表征。该单元包括先进的光学计量技术,用于测量和检查精确度小于一纳米的纳米分辨率的晶圆。这种纳米分辨率计量方法使研究人员能够量化物理和化学过程对晶圆薄层材料的影响。此外,机器还可以测量晶圆上各薄层的应力.SSM 490i的基于COTS的传感器可以确定晶片的临界尺寸;这种非侵入性方法对设备表征和生产高可靠性、经济高效的设备非常有益。该工具的高级成像功能还使高分辨率成像能够检测缺陷并监控过程产量。它可以提供晶圆在其整个直径上的表面纹理和粗糙度的详细表征。490i专为准确性和可靠性而设计,减少了收集数据所需的时间。该资产使用自动化数据收集,通过快速推断几个测量参数的结果来简化和加快测试和测量过程。此外,该模型还包括一个基板支架,使其能够测量高达15毫米的晶圆厚度,精度小于5纳米。SSM 490i晶圆测试和计量设备是用于各种测试和测量应用的先进工具。其光学计量学和基于COTS的传感器使设备测试和材料表征具有高精度、准确性和速度。它是为可靠性和效率而设计的,以实现高质量的工艺产量并减少上市时间。
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