二手 SSM 495 #293796070 待售

SSM 495是一种晶圆测试和计量设备，设计用于微电子制造设施。该系统具有晶圆检测、计量和过程监控的子系统组合。对于晶圆检查，该单元包括高分辨率成像能力，以及缺陷审查和分类能力。这允许用户快速识别和分类晶片缺陷，以及为缺陷汇提供触发机制。该机还结合了扫描电子显微镜（SEM）和聚焦离子束（FIB）成像功能，允许用户在详细水平上检查缺陷。在计量方面，该工具提供了多种不同类型的测量，可用于评估晶片的电气、机械和光学性能。这包括电阻、电容和功率等电性能，以及反射率、吸收和透射等光学性质。它还包括高度、距离和宽度等自动晶圆几何测量的功能。资产还包括一系列图像表征和分析工具，以进一步洞察晶圆特性。最后，该模型包括了一些具体的过程监测功能，包括晶圆温度的实时测量、晶圆结构参数以及设备性能监测。这使用户能够确保满足最佳流程条件,并快速识别偏离所需值的情况。设备还可以与离线流程数据分析相结合,以评估各种流程参数和指标。总体而言,495提供了一个用于分析和表征晶片的集成系统,使用户能够快速准确地识别过程缺陷和潜在解决方桉。全面的成像、计量和过程监控功能提供了广泛的灵活性和优化,使用户能够最大限度地提高其生产环境中的晶圆产量。