二手 SSM 6100 #9055345 待售

SSM 6100是为半导体器件制造而设计的晶圆测试和计量设备。它允许在5"或6"晶圆上动态光散射、椭圆偏振和总内部反射光谱。该系统采用高灵敏度的科学级光学，提供最先进的图像和数据采集能力。该单元包含一个安装在密封外壳中的轻型隧道。这使得来自测试区域的光被聚焦成高度敏感的光谱仪。隧道还有助于减少与常规显微镜相关的杂光和热噪声。用户可以将机器配置为对薄至0.005mm的材料进行无损检测。此外,x-y级的最大采样面积为161.2mm x 177.8mm,精度为0.002mm。6100提供晶圆表面的高精度数据采集。它具有广泛的光源，包括LED、高功率激光和卤素灯泡。这些源中的每一个都是为了高效地以高分辨率测量物理特性而设计的。该工具的读取速度高达每秒10,000个读数。它还提供了高信噪比，使用户能够捕捉到高度精确的测量结果。资产提供各种分析功能。它包括一个强大的图像处理算法，用于渲染没有明显失真的图像。SSM 6100的软件提供多层次的分析,包括多散射、集成分析和多图像关联。这允许用户精确测量薄膜厚度和表面粗糙度。总而言之，6100的设计目的是为半导体器件提供准确可靠的测试。它提供先进的光隧道设计、高精度光谱仪和一套分析功能。这使用户能够快速准确地测量晶片上薄膜层的物理特性。