二手 SSM / SOLID STATE MEASUREMENTS SRP 150 #9404387 待售

SSM/SOLID STATE MEASUREMATIONS SRP 150晶圆测试和计量设备是研究和生产应用的集成平台。它可实现超高精度和高速性能,用于测量和检查用于设备生产的薄膜结构和薄膜工艺。SSM SRP 150系统将广泛的测量和检查能力与先进的机器人技术结合在一起，实现精确定位和高吞吐量。集成平台包括一个自动薄膜计量模块、一个薄膜工艺检测模块和一个晶圆处理单元。计量模块能够对薄膜结构和薄膜工艺进行强大的在线或离线测量。它能够测量从几纳米到多毫米厚度的薄膜材料。该模块使用高精度原子力显微镜（AFM）探针以及先进的光学和高度灵敏的探测器来精确测量和检查薄膜结构。该机能够测量薄膜厚度、表面地形、表面粗糙度、表面轮廓等参数。工艺检查模块允许检测和评估薄膜工艺。它使用一系列传感器和探测器来测量温度、力和振动。该工具能够测量沉积速率、沉积均匀性、薄膜厚度均匀性和缺陷特性等过程。晶圆处理资产集成了机器人模型、复杂的运动控制算法、激光计量和视觉系统。该设备能够精确定位晶片，定位精度高，可重复性高。机器人晶片处理系统能够处理各种尺寸的晶片和各层薄膜材料。SOLID STATE MEASUREMATIONS SRP 150单元专为精确度和精确度至关重要的应用而设计,例如半导体工业中的薄膜沉积和其他薄膜工艺。适用于研究和生产应用中的检测和测量，包括薄膜工程、QA/QC、器件静态和动态表征以及缺陷分析。SRP 150机器是一个先进、集成的平台，不仅为晶圆测量和检测提供超高精度和高速性能，而且还提供了一套用于过程开发、表征和评估的强大工具。SSM/SID STATE MEASURATIONS SRP 150工具拥有先进的机器人技术、精密的算法、高精度的AFM探针、先进的光学和视觉系统，是半导体行业研究和生产应用不可或缺的工具。