二手 SURFTENS OEG #9043976 待售

SURFTENS OEG是一个专门的"晶圆测试和计量"系统，用于检测制造过程中半导体晶圆上的介电粒子污染。它利用光发射光谱法检测、分类和绘制异常高分辨率的污染颗粒。半导体晶片的检测是装配和制造过程中的一个关键步骤，检测和尽量减少可能损害性能的缺陷至关重要。OEG旨在拍摄晶圆表面的高分辨率图像，然后分析这些图像以检测任何缺陷。具体而言，系统利用OES光谱进行粒子识别和制图。本分析根据红外辐射下的光谱发射检测由导电、绝缘或半导电材料制成的粒子。分析结果随后在粒子图中表示，显示了不同类型粒子在整个视场中的浓度。这些粒子图可用于识别污染区域，然后可以进一步分析，以确保可靠晶圆生产的最高产量。系统的准确性和分辨率使得它特别有利于检测难以发现的缺陷，如溷合。这种情况发生在污染颗粒的集中区域难以在单个图像中检测到的情况下，但可以通过在OES分析中对颗粒大小和成分进行分类来识别。这使得提高产量和节约成本成为可能，因为减少了清除污染的清洁步骤的需要。SURFTENS OEG的总体好处是能够以最高的精度和分辨率检测和分类颗粒污染，在过程中节省时间和金钱，同时保障最高质量晶片的生产。其OES光谱法提供了快速准确的详细信息，有助于确保过程结束时的优质产品。