二手 TABER 5135 #9081963 待售

TABER 5135是一种晶圆测试和计量设备，用于测量晶圆处理过程中集成电路的电气和物理特性。它采用精密激光干涉法精确测量晶圆的厚度、轮廓、平坦度、临界尺寸和平面度。此外，它还配备了多路复用器、短路/开路测试仪和二极管/LED探针等各种电气元件，这些元件允许从元件级一直到整个晶片测试电气特性。5135系统灵敏度高、精度高、坚固耐用，设计用于晶圆制造或研发实验室的工业用途。它配有高分辨率相机和空间光调制器（SLM），可以捕捉晶圆的形状、图桉和表面。SLM还用于将结构化光投射到晶圆上,提供有关表面地形的信息,然后将其用于以高精度生成图像。TABER 5135还具有多路复用器通道和二极管/LED光探针测量功能。这可以进行电阻、电容、电压和电流等电气参数测量，甚至是测量信号响应、信号噪声和信号完整性的多功能分析仪。其他电测量能力包括阻抗测量和瞬态电压/电流测量。此外,该单元还可用于晶圆级燃烧测试、元件和电路级测量以及开放/短测试。5135是一种用途极为广泛的机器，可以容纳多种测试场景。它有一个功能强大的软件套件，允许自动设置和测试，还包括用于表征、校准或故障分析的高级图像分析功能。该工具还提供灵活的数据分析功能,允许用户轻松存储、分析和报告结果。最终，TABER 5135代表了一个强大的、最先进的晶圆测试和计量资产。它的设计目的是提供可靠和准确的测量，同时尽量减少操作员的监督，使其成为晶圆制造实验室或研发应用的理想选择。其强大的成像和电气测试功能为晶圆表征提供了一个多功能的解决方桉,其灵活性和可扩展性使其成为晶圆生产过程中不可或缺的一部分。