二手 TAMAR Waferscan 300 #293636438 待售

TAMAR Waferscan 300是为生产环境设计的综合性晶圆测试和计量设备。该系统在测量和分析半导体晶片时具有很高的精度和准确性。它具有高分辨率扫描级,可精确捕获小几何特征,如鳍宽和栅极长度,以及用于检测设备微结构的高分辨率光学系统。该单元包括一个高度可靠和精确的激光干涉仪，它提供晶圆表面的精确测量。通过与先进图像处理算法的集成，准确地分析和测量了晶圆表面的地形。一种自动检测算法通过检测由于表面激光散射造成的测量或数据点的潜在误差，进一步提高了精度。TAMAR机利用电动光学变焦，使用户可以快速调整光学工具的放大倍率，以便观察和分析不同的区域。它还具有一个高品质的CCD相机，以极高的精确度捕捉图像。该资产还包括一个多用途监视器，供用户查看测量结果和图像分析。Waferscan 300还提供了检查i-line和KrF薄膜的功能,并且能够测量设备层的厚度。此外,该模型还可以精确分析光刻胶厚度测量结果,使用户能够确保尺寸和特征分辨率在公差范围内。自动光学对准程序为用户提供了一种简便、准确的方法来快速实现设备光学器件的理想对准。此精确对齐功能在生产环境中非常有价值,因为它可确保在尽可能短的时间内获得准确的结果。该系统还可以测量晶片表面的平坦度，使用户能够准确识别和解决影响设备质量的潜在问题。最后,该部门提供了一系列数据分析工具和报告功能,使用户能够快速提取统计数据并快速做出明智的决策。