二手 TAYLOR HOBSON Surtronic 3 CPO #9012955 待售
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ID: 9012955
Profilometer
Parameters: Ra
Traverse speeds: 1mm/s for measurement, 0.25mm/s for recording
Measurement ranges: 0-9.99 and 0-25μm, 0-999 μin Ra
Readout: Digital; liquid crystal display
cut-off values: 0.25, 0.8, 2.5 mm (0.01, 0.03, 0.1 inch) 0.8mm(0.03inch) over the full 25mm (0.98inch) traverse
Height of digits: approx. 6.5mm (0.25 inches)
Standard traverse lengths: Nominally 5X selected cut off + 0.5mm i.e. 1.75, 4.5, 13mm
Display: Four digits, decimal ("E") and measuring sign (---)
Output for recording: 10mV/μm on 99.9μm range
100mV/μm on 9.99μm range 1mV/μin on 999μin range
Minimum load impedance for recorder output: 10k
*Overall accuracy of Ry (RmaxDIN) & Rtm (RzDIN) measurement: To within 2% of reading +/- 1 unit in the least significant decimal.
TAYLOR HOBSON Surtronic 3 CPO是为精确测量和检查晶圆表面而开发的自动化3D表面测试和计量设备。该系统是基于龙门的数控表面剖面仪，利用电容位移传感器进行手动和自动操作。它专为研究、开发和生产实验室而设计。Surtronic 3 CPO的关键硬件部件包括线性位移测量单元、变速扫描能力、1,250 mm x 1,250 mm级（即横越区域）和1,200 mm z轴行程高度。它还具有1轴、3轴和5轴自动对齐和可重复性的功能。此外，还配备了集成级编码器和移动LED光源，用于测量重复性和改进特征检查。特定于示例的显示使用户能够查看曲面轮廓和关键特征信息,以及其他曲面特征,如平坦度、凸起高度、波纹和波浪长度。TAYLOR HOBSON Surtronic 3 CPO能够在X、Y、Z轴方向上通过轮廓、表面扫描或晶圆测量来测量。此外,机器还可以测量总曲面表单误差（TSFE）或总跳动（TIR）,并以2D图形或3D曲面映射的布局显示结果。Surtronic 3 CPO的高级软件还促进了自动化报告和数据分析,使其成为研究、生产和质量保证应用的理想选择。在操作方面，TAYLOR HOBSON Surtronic 3 CPO具有高达15 μ m的高精度线性精度，能够在各种样品和探头设置下操作。此外，结合高分辨率、多通道激光线三角测量传感器，结合专利技术线扫描方法，以极高的精度测量表面特征。为加强环境保护，Surtronic 3 CPO采用密封干式测量室和连续反馈控制机制，以保持空气的轴向湿度和温度水平。总体而言,TAYLOR HOBSON Surtronic 3 CPO非常适合晶圆测试和计量操作,包括研究、开发和制造操作。该工具配备了广泛的功能,便于设置和精确测量,并具有可重复性和可靠性。
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