二手 TAYLOR HOBSON TALYROUND 265 #9161653 待售

TAYLOR HOBSON Talyrond 265晶片测试和计量设备为平面晶片表面提供精确的计量测量能力。该系统旨在评估半导体晶片上的平面和平面表面,提供实时数据分析和综合报告以改进工艺。Talyrond 265由一个试验室、一个角度传感器和一个电机驱动的驱动机构组成。试验室用两种传感器测量晶圆表面：圆形干涉仪和线性电容传感器。然后,数据用于计算两种传感器与晶片曲面之间的距离,然后将其用于识别表面上的任何缺陷。角度传感器可精确测量评估曲面所需的角度。电机驱动的驱动机构确保精确的运动和位置控制.该单元提供了在X、Y、Z轴上的精度从0.2 nm到6 nm不等、速度和步长高达0.1mm和0.01deg、最大晶圆直径为92 mm、最大采样速度为每分钟6000晶圆、读出精度为3um等功能。软件提供了一份全面的报告，提供有关测量结果的信息，包括读数、平均值、最大值和最小值、标准差以及其他统计数据。该机兼容湿蚀、光刻、退火等多种制造工艺。Talyrond 265配备了直观的用户界面,可提供快速轻松的设置和分析功能。该工具还为需要其他信息的用户提供了教程和帮助资产。为保证可靠性和质量，该模型采用优质材料制成，设计能够承受恶劣的工业条件。此外,设备的保修期为一年,以确保系统在必要时得到维修或更换。最后，TAYLOR HOBSON Talyrond 265是一个有效的计量单元，提供精确、快速和全面的信息来评估和优化平面晶片表面。该机具有先进的特点和可靠的性能，是各种半导体器件制造工艺的理想选择。