二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactrus NCCP #9374709 待售
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ID: 9374709
Etcher, 12"
Mainframe
(2) Chambers
CIM:
E84
SECS / GEM
GEM300
Interface A
Handler:
Vacuum transfer module
Loader module
Loadlock module
(5) FOUPs
Hardware configuration:
(4) RF Generators
AC Power rack
Pump rack
(4) Pumps
(4) Chillers
2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Tactrus NCCP是一种晶圆测试和计量设备，设计用于在各种不同的工艺节点、应用和测试类型上提供准确、可靠和可重复的结果。该系统旨在为流程和产品监控提供灵活、经济高效的解决方桉,并具有多种功能,可帮助管理、跟踪和分析流程结果。TEL Tactrus NCCP利用高端光学和电气测试模块以及一套全面的计量选项,这些选项可以定制以满足特定的客户需求。该单元能够测量电阻、电容、瞬态、瓦数、电流泄漏、图样和蚀刻均匀性等一系列参数。TOKYOelectronTactrusNCCP特别适合于半导体晶圆性能的高分辨率、高精度测量。该机也非常适合过程控制应用，能够监测介电击穿、栅极氧化物和栅极氧化物传导。此外，Tactrus NCCP可以测量接触模式的迭加精度和对比度，以及差分电容。TEL/TOKYO ELECTRON Tactrus NCCP提供了多种测量和分析特定工艺点的选项，包括多个成像FOV。这为用户提供了灵活性,因为它允许映射特定的过程步骤,以便更好地了解整个制造和测试过程。TEL Tactrus NCCP包含容易与FEM等其他系统整合的软体。这使用户能够访问功能强大的数据分析工具和功能强大、用户友好的图形用户界面。此外,该工具还支持多个用户配置文件和访问级别,以帮助管理多个测试人员和项目。TOKYO ELECTRON Tactrus NCCP是一种高度可靠的资产，旨在吸引各种市场。这是由于其高质量的组件、卓越的准确性和可重复性、先进的电气和光学测试能力以及针对过程控制应用的高严重性测量而实现的。Tactrus NCCP是晶圆测试和计量的理想选择。
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