二手 TFM TFM-100 #9252380 待售
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ID: 9252380
Coating and thin film thickness analyzer
Thickness range: 0.5 - 100 um
Wavelength range: 350 - 1,050 nm
Spot size: Approximately 4 mm
Repeatability (x10): < ±0.001 um at 1 um SiO2 on Si wafer
Light source: Tungsten halogen 1-6 W
Sample stage: 20 x 20 cm
Dimensions:
Detector: 22 x 22 x 7 cm
Light source: 12 x 17 x 5 cm
Scope: 20 x 20 x 17 cm
Power supply: 12 V, 1 A.
TFM TFM-100是一种机器人晶圆测试和计量设备,由TFM公司设计制造。该系统能够有效地测量和分析半导体晶片的物理属性,如平面和球面的尺寸和半径,以及其他参数,如现场特异性排便。TFM-100包括三个主要组件-主机、检查头单元和软件。大型机高44英寸,采用铝和复合塑料结构。无框紧凑的设计有助于为设备的内部部件提供安全的空间。检验头单元是一个二维的空气轴承编码器,分辨率为10纳米,允许快速无振动扫描。此外,机器以手动和自动两种模式运行,允许用户相应地定制功能和准确性。该工具还带有几个软件选项。Inspection Software Suite有40多个不同的应用程序,每个应用程序专门测量和分析适当的物理属性和缺陷,以便对晶圆进行详细分析。该套件还具有独特的测试功能,如缺陷检测、双重绘图和用户定义的警报,使用户能够快速准确地检测任何潜在问题。此外,TFM TFM-100使用ZAxis 2000控制器,并使用高速模式发生器TMS-146对其进行优化。这种组合使TFM-100能够快速分析不同的材料,准确测量几何形状。资产不需要庞大的路径和仪表,因为它直接安装在机械台上,从而节省了宝贵的资源和空间。TFM TFM-100也可用于多个晶片测试,因为大型机最多可容纳五个晶片,可以快速扫描分析。此外,该模型还配备了多种功能,以保护设备和晶片免受潜在的损坏。它还配备了故障检测和诊断功能,因此用户可以快速有效地解决任何潜在问题。TFM-100提供了有效和可靠的价值,因为它已经在世界各地的实验室进行了测试和检查。由于TFM TFM-100的精度、可靠性和鲁棒性,它是测量和分析晶片的理想解决方桉。
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